
Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
标准号:YS/T 1068-2015
基本信息
标准号:YS/T 1068-2015
发布时间:2015-04-30
实施时间:2015-10-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 重金属及其合金
ICS分类:铜产品
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
主管部门:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。
标准摘要
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。 本标准起草人:谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋。 |
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