集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法现行

Technical requirements and test method for comprehensive utilization of waste sulfuric acid in integrated circuit manufacturing industry

标准号：T/JSSES 16-2021

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基本信息

标准号：T/JSSES 16-2021

发布时间：2021-05-28

实施时间：2021-06-28

首发日期：

起草人：邱伟平、严与辉、徐林、蒋龙进、邱立京、李传红、纪罗军、吴卫民、袁宗涛、李彬、韩培、严伟、姜满兰

标准分类：无机酸、碱

ICS分类：酸

提出单位：江苏省环境科学学会

起草单位：江苏电科环保有限公司、江苏宣臻防腐工程有限公司、安徽超越环保科技有限公司、常州德帝士环保科技有限公司、中石化南京化工研究院有限公司、扬州嘉明环保科技有限公司、上海滤远能源科技有限公司、苏州宝典环保科技有限公司、常州江南冶金科技有限公司

归口单位：江苏省环境科学学会

标准简介

本文件规定了集成电路生产制造过程中废硫酸综合利用的技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输、贮存、安全。本文件适用于集成电路生产制造过程中废硫酸的综合利用。

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