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物理气相沉积TiN薄膜技术条件现行

Specifications of physical vapour deposition TiN films

标准号：GB/T 18682-2002

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基本信息

标准号：GB/T 18682-2002

发布时间：2002-03-10

实施时间：2002-08-01

首发日期：2002-03-10

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：凌国伟、李健、倪瀚、黄济群

出版机构：中国标准出版社

标准分类：材料防护

ICS分类：表面处理

提出单位：中国机械工业联合会

起草单位：武汉材料保护研究所

归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

主管部门：中国机械工业联合会

标准简介

本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层（TiC，TiCN，TiAlN等）。

替代情况

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