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硅片切割废液处理处置方法现行

标准号：HG/T 5962-2021

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基本信息

标准号：HG/T 5962-2021

发布时间：2021-08-21

实施时间：2022-02-01

首发日期：

出版单位：化学工业出版社查看详情>

起草人：

出版机构：化学工业出版社

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

标准简介

本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。

替代情况

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引用标准

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