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金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法

Gold-plated thickness measurement by SEM
标准号:GB/T 17722-1999
基本信息
标准号:GB/T 17722-1999
发布时间:1999-04-01
实施时间:1999-01-02
首发日期:1999-04-11
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类:光学设备
起草单位:中国科学院北京科仪研制中心
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
发布部门:国家质量技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了各类金制品的金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法的技术要求,本标准也适用于电子探针仪测量金覆盖层厚度,适用的厚度测量范围为0.2~10um。其他金属材料的覆盖层厚度的测量也可参照执行。
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