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硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法已作废

Singie crystal sllicon-Detection of microdefects-Chemical etching technique

标准号：GB 4057-1983

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基本信息

标准号：GB 4057-1983

发布时间：1983-12-20

实施时间：1984-12-01

首发日期：

起草人：

标准分类：金属化学性能试验方法

起草单位：峨眉半导体材料研究所

标准简介

本标准行之有效用于电阻率10-1~104Ω.cm的硅单晶。

替代情况

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引用标准

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