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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 现行
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
标准号：GB/T 30857-2014
基本信息
标准号：GB/T 30857-2014
发布时间：2014-07-24
实施时间：2015-04-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 金属物理性能试验方法
ICS分类：金属材料试验
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
标准摘要
|
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。 本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮。 |
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