高纯氟化铵溶液 现行
High purity ammonium fluoride solution for industrial use
标准号：GB/T 30901-2014
基本信息
标准号：GB/T 30901-2014
发布时间：2014-07-08
实施时间：2014-12-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：田志扬、赵晓亚、万群平、林益兴、张红英、周鹏鹏、郭凤鑫、王芳
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 无机盐
ICS分类：盐
提出单位：中国石油和化学工业联合会
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心
归口单位：全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：中国石油和化学工业联合会
标准简介
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
标准摘要
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)归口。 本标准起草单位:浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人:田志扬、赵晓亚、万群平、林益兴、张红英、周鹏鹏、郭凤鑫、王芳。 |
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