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电子工业用气体　三氯化硼现行

Gases for electronic industry-Boron trichloride

标准号：GB/T 17874-2010

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基本信息

标准号：GB/T 17874-2010

发布时间：2011-04-01

实施时间：2011-05-01

首发日期：1999-09-16

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)

起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)

标准简介

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

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