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蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 现行
Test methods for warp of sapphire substrates
标准号：GB/T 31352-2014
基本信息
标准号：GB/T 31352-2014
发布时间：2014-12-31
实施时间：2015-09-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、夏根平、肖宗杰
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 金属物理性能试验方法
ICS分类：金属材料的其他试验方法
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
标准简介
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法提要、干扰因素、仪器和设备、试样、测试环境、测试程序、测试结果的计算、精密度以及试验报告。 本标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。 本标准主要起草人:薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、夏根平、肖宗杰。 |
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