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微米级长度的扫描电镜测量方法通则现行

General rules for measurement of length in micron scale by SEM

标准号：GB/T 16594-2008

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基本信息

标准号：GB/T 16594-2008

发布时间：2008-09-18

实施时间：2009-05-01

首发日期：1996-11-04

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电化学、热化学、光学式分析仪器

ICS分类：有关化学分析方法的其他标准

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

起草单位：上海理工大学、上海宝能源技术有限公司、同济大学、上海市计量测试技术研究院、中国船舶重工集团公司第研究所。

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准代替GB/T 16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。本标准规定了微米级长度的扫描电镜测量方法的通用原则。本标准与GB/T 16594-1996相比主要变化如下：———将“测量方法”改为“测量方法通则”；———将“误差分析”改为“不确定度评定”；———增加样品变形产生的不确定度评定；———改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值；———增加“被测长度方向的调整”附录。

标准摘要

本标准代替GB/T16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。
本标准与GB/T16594-1996相比主要变化如下:
---将测量方法改为测量方法通则;
---将误差分析改为不确定度评定;
---增加样品变形产生的不确定度评定;
---改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值;
---增加被测长度方向的调整附录。
本标准的附录A 为规范性附录,附录B~附录D 为资料性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。
本标准主要起草单位:上海元宝能源技术有限公司、上海理工大学、上海市计量测试技术研究院、同济大学、中国船舶重工集团公司第725研究所。
本标准主要起草人:张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16594-1996。

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