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微纳米标准样板（几何量）
微纳米标准样板（几何量） 即将实施
Micro nano standard samples (geometric)
标准号：GB/T 39516-2020
基本信息
标准号：GB/T 39516-2020
发布时间：2020-11-19
实施时间：2021-06-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 量具与量仪
ICS分类：测量仪器仪表
提出单位：中国机械工业联合会
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
归口单位：全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
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