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砷化镓单晶AB微缺陷检验方法现行

The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

标准号：GB/T 18032-2000

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基本信息

标准号：GB/T 18032-2000

发布时间：2000-04-03

实施时间：2000-09-01

首发日期：2000-04-03

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：王海涛、钱嘉裕、王彤涵、宋斌、樊成才

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金相检验方法

ICS分类：金属材料试验综合

提出单位：国家有色金属工业局

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术质量监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度的检验。

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