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电子薄膜用高纯钛溅射靶材现行

High-purity sputtering titanium target used in electronic film

标准号：YS/T 893-2013

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基本信息

标准号：YS/T 893-2013

发布时间：2013-10-17

实施时间：2014-03-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东

出版机构：中国标准出版社

标准分类：稀有轻金属及其合金

ICS分类：钛产品

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

主管部门：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

标准简介

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。
本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。

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