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半导体单晶硅生长用石英坩埚现行

Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth

标准号：T/CEMIA 023-2021

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基本信息

标准号：T/CEMIA 023-2021

发布时间：2021-07-15

实施时间：2021-12-25

首发日期：

起草人：何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类：半导体材料

提出单位：中国电子材料行业协会

起草单位：内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司

归口单位：中国电子材料行业协会

发布部门：中国电子材料行业协会

标准简介

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。

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