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纳米级长度的扫描电镜测量方法通则现行

General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM

标准号：GB/T 20307-2006

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基本信息

标准号：GB/T 20307-2006

发布时间：2006-07-19

实施时间：2007-02-01

首发日期：2006-07-19

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生、刘芬、李戎、周剑雄、邓保庆等

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子光学与其他物理光学仪器

ICS分类：长度和角度测量

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学，中国科学院化学所，中国地质科学院矿产资源研究所，上海理工大学

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。

替代情况

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采标情况

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