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硅单晶切割片和研磨片

Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices
标准号:GB/T 12965-2005
基本信息
标准号:GB/T 12965-2005
发布时间:2005-09-19
实施时间:2006-04-01
首发日期:1991-06-04
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:
作废日期:2019-06-01
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 元素半导体材料
ICS分类:半导体材料
起草单位:北京有色金属研究总院
归口单位:中国有色金属工业协会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国家标准化管理委员会
主管部门:中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了硅单晶切割片和研磨石的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直接、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。
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