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半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法已废止

The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

标准号：GB 4298-1984

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基本信息

标准号：GB 4298-1984

发布时间：1984-03-28

实施时间：1985-03-01

首发日期：1984-03-28

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：周云鹿、章家鼎

作废日期：2017-12-15

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 29.040.30

提出单位：有色金属总公司

起草单位：有色金属研究总院

归口单位：中国有色金属工业协会

发布部门：国家标准局

主管部门：中国有色金属工业协会

标准简介

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素（十六个）的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。

替代情况

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