利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 现行
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
标准号：GB/T 27760-2011
基本信息
标准号：GB/T 27760-2011
发布时间：2011-12-30
实施时间：2012-05-01
首发日期：2011-12-30
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 基础标准与通用方法
ICS分类：试验条件和规程综合
提出单位：中国科学院
起草单位：国家纳米科学中心
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
标准简介
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准与ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》(英文版)技术内容基本一致。 考虑到我国国情,在采用ASTM E2530—2006时,本标准做了一些修改,有关技术性差异已编入正文中。附录A(规范性附录)中给出样品制备方法,附录B(资料性附录)中列出了本标准章条编号与ASTM E2530—2006章条编号的对照一览表,附录C(资料性附录)中给出了技术性差异及其原因一览表以供参考。 本标准由中国科学院提出。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。 本标准起草单位:国家纳米科学中心。 本标准主要起草人:朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁。 |
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