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氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 即将实施
Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
标准号：GB/T 39144-2020
基本信息
标准号：GB/T 39144-2020
发布时间：2020-10-11
实施时间：2021-09-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、倪青青
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：金属材料试验
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014cm-3。
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