真空溅射镀膜设备 现行
Vacuum sputtering coating plant
标准号：JB/T 8945-2010
基本信息
标准号：JB/T 8945-2010
发布时间：2010-02-11
实施时间：2010-07-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：机械工业出版社
标准分类： 真空技术与设备
ICS分类：真空技术
起草单位：广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所
归口单位：全国真空技术标委会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
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