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微电子器件测试系统自检模块校准规范
基本信息
标准号：JJF(电子)0033-2019
发布时间：2019-11-11
实施时间：2019-12-01
首发日期：
出版单位：中国质检出版社查看详情>
起草人：
出版机构：中国质检出版社
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本规范适用于直流电压±（1mV～100V），直流电阻1mΩ～100MΩ，频率1kHz～100MHz的微电子器件测试系统自检模块的校准，也适用于具有上述单一功能或组合功能的自检模块的校准。微电子器件测试系统自检模块主要由各种阻值的标准电阻和其他电子元器件组成，用来模拟静态标准样片，其主要用于微电子器件测试系统日常自行准确性和工作正常性检测，判断测试系统是否在规定的最大允许误差范围内；功能是否正常；是否符合指标要求。
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