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电子薄膜用高纯钴靶材

High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
标准号:YS/T 1053-2015
基本信息
标准号:YS/T 1053-2015
发布时间:2015-04-30
实施时间:2015-10-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 重金属及其合金
ICS分类:镉和钴产品
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
主管部门:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
标准摘要
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准负责起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司。 本标准主要起草人:王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛。 |
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