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真空技术质谱检漏仪校准现行

Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

标准号：GB/T 18193-2000

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基本信息

标准号：GB/T 18193-2000

发布时间：2000-09-02

实施时间：2001-02-01

首发日期：2000-09-26

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：真空技术与设备

ICS分类：真空技术

起草单位：沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布部门：国家质量技术监督局

主管部门：中国机械工业联合会

标准简介

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

替代情况

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引用标准

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