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磁控溅射设备通用技术条件现行

General specification for magnetic sputtering equipment

标准号：SJ/T 10478-1994

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基本信息

标准号：SJ/T 10478-1994

发布时间：1994-04-11

实施时间：1994-10-01

首发日期：

出版单位：电子工业部标准化研究查看详情>

起草人：

出版机构：电子工业部标准化研究

标准分类：技术管理

标准简介

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