硅--蓝宝石外延片 现行
Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准号：GB/T 14015-1992
基本信息
标准号：GB/T 14015-1992
发布时间：1992-01-02
实施时间：1993-08-01
首发日期：1992-12-28
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 电子技术专用材料
ICS分类：
29.040.30
起草单位：天津半导体技术研究所
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：国家技术监督局
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
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