基本信息
标准号：GB/T 12963-1996
发布时间：1996-01-01
实施时间：1997-04-01
首发日期：1991-06-04
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立
作废日期：2010-06-01
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 元素半导体材料
ICS分类：半导体材料
提出单位：中国有色金属工业总公司
起草单位：峨嵋半导体材料厂
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：国家技术监督局
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。
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