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X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告现行

Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting

标准号：GB/T 36053-2018

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基本信息

标准号：GB/T 36053-2018

发布时间：2018-03-15

实施时间：2019-02-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平

出版机构：中国标准出版社

标准分类：基础标准与通用方法

ICS分类：化学分析

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

起草单位：中国计量科学研究院

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

标准简介

本标准规定了通过X射线反射技术（XRR）来测量平面衬底上厚度介于约1 nm至1 μm之间的单层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法。本方法使用单色化的平行光进行角度或散射矢量扫描。类似的考虑事项适用于使用分布式探测器进行平行数据采集的会聚光束或者扫描波长的情形，但本标准不描述这些方法。对于X射线漫反射技术而言，实验要求是相似的，但本标准不包括这部分内容。　　　　测量可在具有不同配置的设备上进行。这些设备包含实验室仪器、同步辐射光束线上的反射率计以及工业中的自动系统等。应注意的是，数据采集时，薄膜可能存在的不稳定性将会引起测量结果准确度下降。XRR使用单波长入射X射线束、不能提供薄膜的化学信息，因此应注意样品表面可能产生的污染或反应。表面变化会严重影响最外层薄膜测量结果的准确性。

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