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溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 现行
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
标准号：YS/T 837-2012
基本信息
标准号：YS/T 837-2012
发布时间：2012-11-07
实施时间：2013-03-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 贵金属及其合金
ICS分类：其他有色金属及其合金
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国有色金属标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。 本标准主要起草人:刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。 |
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