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硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法已作废

Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

标准号：GB/T 4061-1983

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基本信息

标准号：GB/T 4061-1983

发布时间：1983-01-02

实施时间：1984-01-02

首发日期：1983-12-20

起草人：

作废日期：2010-06-01

标准分类：金属化学性能试验方法

ICS分类：金属材料化学分析

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家标准局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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