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集成电路用石英舟 现行

标准号:JC/T 2372-2016

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基本信息

标准号:JC/T 2372-2016
发布时间:2016-07-11
实施时间:2017-01-01
首发日期:
出版单位:建材工业出版社查看详情>
起草人:
出版机构:建材工业出版社
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部

标准简介

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品,包含立式石英舟及卧式石英舟。

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