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电子材料晶片参考面长度测量方法已作废

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

标准号：GB/T 13387-1992

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基本信息

标准号：GB/T 13387-1992

发布时间：1992-02-19

实施时间：1992-10-01

首发日期：1992-02-19

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属物理性能试验方法

ICS分类： 29.040.30

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。

替代情况

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