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非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
基本信息
标准号：JJF(电子)0072-2021
发布时间：2021-12-02
实施时间：2022-04-01
首发日期：
起草人：
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本本规范适用于测试范围在 0.1Ω·cm~200.0Ω·cm(厚度 100 μm~1000μm)的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统，检测由被测半导体晶片感应的涡流，辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成。
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