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硅外延层载流子浓度测定汞探针电容--电压法已作废

Silicon epitaxial layers－Determination of carrier concentration－Mercury probe valtage-capacitance method

标准号：GB/T 14146-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14146-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属物理性能试验方法

ICS分类： 29.040.30

起草单位：上海市有色金属总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。

替代情况

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引用标准

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