表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 现行
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
标准号：GB/T 28632-2012
基本信息
标准号：GB/T 28632-2012
发布时间：2012-07-31
实施时间：2013-02-01
首发日期：2012-07-31
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 基础标准与通用方法
ICS分类：化学分析
提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位：上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
标准简介
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
标准摘要
|
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。 本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。 本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。 |
标准目录
| 前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语、定义、符号和缩略语 1 4 一般信息 2 5 直边法测量横向分辨率 3 6 栅格法测量横向分辨率 8 7 金岛法测量横向分辨率 10 附录A (资料性附录) 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14 附录B(资料性附录) 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16 附录C (资料性附录) 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17 参考文献 19 |
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