洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 现行
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
标准号：GB/T 25915.2-2021
基本信息
标准号：GB/T 25915.2-2021
发布时间：2021-08-20
实施时间：2022-03-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：施红平、王大千、刘俊杰、冯昕、龙军、王苑、谢敬伟、车玉伶、夏薇佳、吴志坚、吴巍、王芳、张仲杰、王辉、耿文韬、王蓉、周占磊、童广才、邱济夫、黄韧、魏佳鸣、姚增玉、廖志铭、詹炼、王华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴、邹再彬
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业防尘防毒技术
提出单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
起草单位：中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司等
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。本文件适用于粒径0.1 um～5um粒子浓度的监测。
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