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俄歇电子能谱分析方法通则现行

General rules for Auger electron spectroscopic analysis

标准号：GB/T 26533-2011

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基本信息

标准号：GB/T 26533-2011

发布时间：2011-05-12

实施时间：2011-12-01

首发日期：2011-05-12

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：姚文清、李展平、曹立礼、朱永法

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子光学与其他物理光学仪器

ICS分类： 37.020;17.180

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

起草单位：清华大学化学系

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

标准简介

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学化学系。
本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。

标准目录

前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 方法原理 1
5 仪器 2
5.1 仪器组成 2
5.2 仪器性能 3
6 样品 3
7 分析步骤 4
7.1 能量标尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步骤 6
7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化学态分析 7
8 分析结果的表述 7
8.1 俄歇全谱 7
8.2 窄谱 7
8.3 线扫描谱 7
8.4 深度剖析谱 7
8.5 多点显微对比分析 8
8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8
8.7 分析结果表述方式 8
图1 KL1L3 俄歇跃迁 2
图2 俄歇电子能谱简图 2
图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5
表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4

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