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真空技术扩散硅压阻真空计现行

Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge

标准号：JB/T 10553-2006

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基本信息

标准号：JB/T 10553-2006

发布时间：2006-05-06

实施时间：2006-10-01

首发日期：

出版单位：机械工业出版社查看详情>

起草人：吴春阳、苏玉萍、付晓东、王晓莉

出版机构：机械工业出版社

标准分类：真空技术与设备

ICS分类：真空技术

提出单位：中国机械工业联合会

起草单位：沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布部门：国家发展和改革委员会

标准简介

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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