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碳化硅单晶材料电学参数测试方法

Measuring methods for electrical parameters of silicon carbide single crystal material
标准号:SJ 20858-2002
基本信息
标准号:SJ 20858-2002
发布时间:2002-12-12
实施时间:2003-05-01
首发日期:
出版单位:工业电子出版社查看详情>
起草人:
出版机构:工业电子出版社
标准分类: 元素半导体材料
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六所
标准简介
本标准规定了碳化硅单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测试方法。本标准适用于温度在20℃~700℃范围内的4H-SiC、6H-SiC等低阻碳化硅体单晶材料的电阻率、霍尔迁移率测量。
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