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电子工业用气体 锗烷
电子工业用气体 锗烷 现行
Gas for electronic industry—Germane
标准号：GB/T 31987-2015
基本信息
标准号：GB/T 31987-2015
发布时间：2015-09-11
实施时间：2016-05-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业气体与化学气体
ICS分类：工业气体
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
标准摘要
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人:方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。 |
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