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表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法现行

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

标准号：GB/T 22572-2008

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基本信息

标准号：GB/T 22572-2008

发布时间：2008-12-11

实施时间：2009-10-01

首发日期：2008-12-11

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：马农农、何友琴、何秀坤

出版机构：中国标准出版社

标准分类：基础标准与通用方法

ICS分类：化学分析

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。

标准摘要

本标准等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化学分析———二次离子质谱———用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》。
为便于使用，本标准对ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列编辑性修改：
———删除了原国际标准的前言部分；
———将本国际标准改为本标准。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。
本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。

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