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掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范现行

Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity

标准号：JJF 1613-2017

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基本信息

标准号：JJF 1613-2017

发布时间：2017-02-28

实施时间：2017-05-28

首发日期：

出版单位：中国质检出版社查看详情>

起草人：任玲玲、高慧芳

出版机构：中国质检出版社

起草单位：中国计量科学研究院

归口单位：全国新材料与纳米计量技术委员会

发布部门：国家质量监督检验检疫总局

主管部门：全国新材料与纳米计量技术委员会

标准简介

本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。

替代情况

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引用标准

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