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硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
基本信息
标准号：GB/T 32280-2022
发布时间：2022-03-09
实施时间：2022-10-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：
出版机构：中国标准出版社
ICS分类：金属材料试验
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本标准描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。本标准适用于直径不小于50mm，厚度不小于100μm的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。
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