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X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南现行

Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy

标准号：GB/T 31472-2015

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基本信息

标准号：GB/T 31472-2015

发布时间：2015-05-15

实施时间：2016-01-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔

出版机构：中国标准出版社

标准分类：综合测试系统

ICS分类：电和磁量值的测量

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了 X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于 XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统。

标准摘要

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。

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