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砷化镓表面砷镓比的测试方法现行

Test method for Ga/As ratio of surface of gallium arsenide

标准号：SJ 20842-2002

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基本信息

标准号：SJ 20842-2002

发布时间：2002-10-30

实施时间：2003-03-01

首发日期：

出版单位：工业电子出版社查看详情>

起草人：

出版机构：工业电子出版社

标准分类：电子技术专用材料

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六所

标准简介

本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响，也适用于晶片加工中的各种表面处理。

替代情况

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引用标准

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