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氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

基本信息
标准号:YS/T 987-2021
发布时间:2021-12-02
实施时间:2022-04-01
首发日期:
出版单位:冶金工业出版社查看详情>
起草人:
出版机构:冶金工业出版社
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围 (质量分数)为 0.000 010%~0.10%。
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