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微机电系统（MEMS）技术　术语现行

Micro-electromechanical system technology—Terms

标准号：GB/T 26111-2010

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基本信息

标准号：GB/T 26111-2010

发布时间：2011-01-10

实施时间：2011-10-01

首发日期：2011-01-10

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波

出版机构：中国标准出版社

标准分类：微电路综合

ICS分类：集成电路、微电子学

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

标准简介

本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学。
本标准主要起草人:丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。

标准目录

前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
3.1 综合性术语 1
3.2 科学与工程术语 2
3.3 与材料相关的术语 3
3.4 与设计相关的术语 4
3.5 与加工工艺相关的术语 7
3.6 封装与组装术语 10
3.7 测量技术术语 13
3.8 与器件相关的术语 15
参考文献 22
索引 23
汉语拼音索引 23
英文对应词索引 27

替代情况

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引用标准

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采标情况

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