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吸气剂成分分析测试方法现行

Test methods for composition analysis of getters

标准号：GB/T 25494-2010

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基本信息

标准号：GB/T 25494-2010

发布时间：2010-12-01

实施时间：2011-05-01

首发日期：1988-06-25

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31.030

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准简介

本标准规定了蒸散型钡吸气剂载料和蒸散钡膜中钡量的测定方法、释汞吸气剂含汞量的测试方法、掺氮吸气剂载料中含氮量的测试方法、蒸散型吸气剂镍含量检测方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。

标准摘要

本标准是将以下标准整合后进行修订的:
———GB/T9506.3—1988《蒸散型钡吸气剂载料和膜中钡量的测定》;
———GB/T6626.2—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂含汞量的测试方法》;
———GB/T6625—1986《掺氮吸气剂含氮量测试方法》。
本标准与原标准相比主要变化如下:
———在规范性引用文件中新增GB/T4314《吸气剂术语》;
———将原标准中非国际单位制的体积百分比浓度、体积比浓度、当量浓度等修订为国际单位制;
———取消了原GB/T9506.3—1988《蒸散型钡吸气剂载料和膜中钡量的测定》中对测试仪器的产地、型号的限制,并将相应的操作步骤进行了修订;
———修订了原GB/T9506.3—1988《蒸散型钡吸气剂载料和膜中钡量的测定》中一些标准溶液配制的计算错误;
———增加蒸散型吸气剂镍含量测试原理、测试方法;
———将各测试方法的内容结构调整为一致;
———根据GB/T1.1—2000的要求进行格式修订。
本标准代替下列标准:
———GB/T9506.3—1988《蒸散型钡吸气剂载料和膜中钡量的测定》;
———GB/T6626.2—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂含汞量的测试方法》;
———GB/T6625—1986《掺氮吸气剂含氮量测试方法》。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。
本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T9506.3—1988;
———GB/T6626.2—1986;
———GB/T6625—1986。

替代情况

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引用标准

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本标准相关公告

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采标情况

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