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电子工业用气体高纯氨已作废

Gases for electronic industry. High purity ammonia

标准号：GB/T 14601-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14601-1993

发布时间：1993-08-26

实施时间：1994-07-01

首发日期：1993-08-26

起草人：

作废日期：2010-05-01

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。

替代情况

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