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硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂现行

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

标准号：GB/T 16527-1996

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基本信息

标准号：GB/T 16527-1996

发布时间：1996-09-09

实施时间：1997-05-01

首发日期：1996-09-09

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类：集成电路、微电子学

起草单位：长沙韶光微电子总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。

替代情况

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引用标准

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硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂 现行